ক্লিনরুম পরিচালনার ক্ষেত্রে আর্দ্রতা একটি সাধারণ পরিবেশগত নিয়ন্ত্রণ শর্ত। সেমিকন্ডাক্টর ক্লিন রুমে আপেক্ষিক আর্দ্রতার লক্ষ্য মান 30 থেকে 50% এর মধ্যে নিয়ন্ত্রিত হয়, যার ফলে ত্রুটিটি ±1% এর একটি সংকীর্ণ পরিসরের মধ্যে থাকতে পারে, যেমন একটি ফটোলিথোগ্রাফিক এলাকা - অথবা দূরবর্তী অতিবেগুনী প্রক্রিয়াকরণ (DUV) এলাকায় আরও ছোট। - অন্যান্য জায়গায়, আপনি ±5% এর মধ্যে আরাম করতে পারেন।
কারণ আপেক্ষিক আর্দ্রতার বেশ কয়েকটি কারণ রয়েছে যা পরিষ্কার ঘরের সামগ্রিক কর্মক্ষমতায় অবদান রাখতে পারে, যার মধ্যে রয়েছে:
● ব্যাকটেরিয়ার বৃদ্ধি;
● ঘরের তাপমাত্রায় কর্মীরা যে পরিমাণ আরাম অনুভব করেন;
● স্ট্যাটিক চার্জ দেখা দেয়;
● ধাতুর ক্ষয়;
● জলীয় বাষ্প ঘনীভবন;
● লিথোগ্রাফির অবক্ষয়;
● জল শোষণ।
ব্যাকটেরিয়া এবং অন্যান্য জৈবিক দূষণকারী পদার্থ (ছাঁচ, ভাইরাস, ছত্রাক, মাইট) ৬০% এর বেশি আপেক্ষিক আর্দ্রতাযুক্ত পরিবেশে সক্রিয়ভাবে বংশবৃদ্ধি করতে পারে। আপেক্ষিক আর্দ্রতা ৩০% এর বেশি হলে কিছু উদ্ভিদ বৃদ্ধি পেতে পারে। আপেক্ষিক আর্দ্রতা ৪০% থেকে ৬০% এর মধ্যে থাকলে, ব্যাকটেরিয়া এবং শ্বাসযন্ত্রের সংক্রমণের প্রভাব কমানো যায়।
৪০% থেকে ৬০% এর মধ্যে আপেক্ষিক আর্দ্রতাও একটি পরিমিত পরিসর যেখানে মানুষ স্বাচ্ছন্দ্য বোধ করে। অতিরিক্ত আর্দ্রতা মানুষকে বিষণ্ণ বোধ করতে পারে, অন্যদিকে ৩০% এর কম আর্দ্রতা মানুষকে শুষ্কতা, ফাটা, শ্বাসকষ্ট এবং মানসিক অস্বস্তি বোধ করতে পারে।
উচ্চ আর্দ্রতা আসলে পরিষ্কার ঘরের পৃষ্ঠে স্থির চার্জ জমা কমায় - এটিই কাঙ্ক্ষিত ফলাফল। কম আর্দ্রতা চার্জ জমার জন্য বেশি উপযুক্ত এবং এটি ইলেকট্রস্ট্যাটিক স্রাবের সম্ভাব্য ক্ষতিকারক উৎস। যখন আপেক্ষিক আর্দ্রতা ৫০% ছাড়িয়ে যায়, তখন স্থির চার্জ দ্রুত বিলীন হতে শুরু করে, কিন্তু যখন আপেক্ষিক আর্দ্রতা ৩০% এর কম হয়, তখন তারা অন্তরক বা ভিত্তিহীন পৃষ্ঠে দীর্ঘ সময় ধরে টিকে থাকতে পারে।
৩৫% থেকে ৪০% এর মধ্যে আপেক্ষিক আর্দ্রতা একটি সন্তোষজনক আপস হতে পারে এবং সেমিকন্ডাক্টর ক্লিনরুমগুলি সাধারণত স্ট্যাটিক চার্জ জমা সীমিত করার জন্য অতিরিক্ত নিয়ন্ত্রণ ব্যবহার করে।
আপেক্ষিক আর্দ্রতা বৃদ্ধির সাথে সাথে ক্ষয় প্রক্রিয়া সহ অনেক রাসায়নিক বিক্রিয়ার গতি বৃদ্ধি পাবে। পরিষ্কার ঘরের চারপাশের বাতাসের সংস্পর্শে আসা সমস্ত পৃষ্ঠতল দ্রুত কমপক্ষে একটি একক স্তর জল দিয়ে ঢেকে যায়। যখন এই পৃষ্ঠতলগুলি একটি পাতলা ধাতব আবরণ দিয়ে গঠিত হয় যা জলের সাথে বিক্রিয়া করতে পারে, তখন উচ্চ আর্দ্রতা বিক্রিয়াকে ত্বরান্বিত করতে পারে। সৌভাগ্যবশত, কিছু ধাতু, যেমন অ্যালুমিনিয়াম, জলের সাথে একটি প্রতিরক্ষামূলক অক্সাইড তৈরি করতে পারে এবং আরও জারণ বিক্রিয়া প্রতিরোধ করতে পারে; তবে আরেকটি ক্ষেত্রে, যেমন তামার অক্সাইড, প্রতিরক্ষামূলক নয়, তাই উচ্চ আর্দ্রতা পরিবেশে, তামার পৃষ্ঠতল ক্ষয়ের জন্য বেশি সংবেদনশীল।
অধিকন্তু, উচ্চ আপেক্ষিক আর্দ্রতাযুক্ত পরিবেশে, বেকিং চক্রের পরে আর্দ্রতা শোষণের কারণে ফটোরেজিস্ট প্রসারিত এবং তীব্র হয়। উচ্চ আপেক্ষিক আর্দ্রতা দ্বারা ফটোরেজিস্ট আনুগত্য নেতিবাচকভাবে প্রভাবিত হতে পারে; কম আপেক্ষিক আর্দ্রতা (প্রায় 30%) ফটোরেজিস্ট আনুগত্যকে সহজ করে তোলে, এমনকি পলিমারিক সংশোধক ছাড়াই।
একটি সেমিকন্ডাক্টর পরিষ্কার ঘরে আপেক্ষিক আর্দ্রতা নিয়ন্ত্রণ করা স্বেচ্ছাচারী নয়। তবে, সময় পরিবর্তনের সাথে সাথে, সাধারণ, সাধারণত গৃহীত অনুশীলনের কারণ এবং ভিত্তি পর্যালোচনা করা ভাল।
আমাদের মানুষের আরামের জন্য আর্দ্রতা বিশেষভাবে লক্ষণীয় নাও হতে পারে, তবে এটি প্রায়শই উৎপাদন প্রক্রিয়ার উপর বড় প্রভাব ফেলে, বিশেষ করে যেখানে আর্দ্রতা বেশি থাকে এবং আর্দ্রতা প্রায়শই সবচেয়ে খারাপ নিয়ন্ত্রণ, যে কারণে পরিষ্কার ঘরের তাপমাত্রা এবং আর্দ্রতা নিয়ন্ত্রণে, আর্দ্রতাকে অগ্রাধিকার দেওয়া হয়।
পোস্টের সময়: সেপ্টেম্বর-০১-২০২০